為迎接第16個“世界認可日”和提高上海市檢驗檢測認證行業(yè)的影響力，上海市市場監(jiān)督管理局在6月8日舉辦了“檢驗檢測認證促進產業(yè)優(yōu)化升級”主題宣傳活動。廣電計量的芯片檢測案例“開發(fā)基于電子顯微技術的先進制程芯片檢測分析方案，助力我國高端芯片研發(fā)制造”入選2023年上海市十大檢驗檢測創(chuàng)新案例，是入選機構中唯一一家市場化運營的第三方檢測機構，體現(xiàn)了主管部門對廣電計量助推上海高端集成電路產業(yè)發(fā)展的肯定。
發(fā)布會現(xiàn)場
廣電計量代表上臺領獎（左二）
聚焦半導體領域 用顯微分析助力產業(yè)發(fā)展
廣電計量集成電路測試與分析事業(yè)部組建了一支由博士帶頭的顯微分析技術團隊，擁有專業(yè)的芯片破壞性物理分析和芯片顯微結構分析能力，配備了TEM、DB FIB等先進的顯微分析設備，可以為客戶提供專業(yè)的半導體器件解剖、4nm及以上先進工藝制程晶圓級TEM分析服務。服務的客戶遍布國內一線晶圓廠、芯片設計公司、激光器芯片設計研發(fā)公司、封裝廠、半導體設備研發(fā)、先進半導體器件研發(fā)、高校科研院所等。服務的產品類型包括硅片晶圓、芯片、VCSEL激光器、光學器件、功率器件、存儲器芯片等。
廣電計量獲“2023年上海市檢驗檢測創(chuàng)新案例”
2023年檢驗檢測創(chuàng)新案例征集，共收到來自檢驗檢測機構、高校科研院所、企業(yè)內部實驗室、儀器設備研發(fā)制造企業(yè)等單位的近100個申報案例。“開發(fā)基于電子顯微技術的先進制程芯片檢測分析方案，助力我國高端芯片研發(fā)制造”案例由廣電計量集成電路測試與分析事業(yè)部陳振博士團隊主導，歷經“項目申報、專家初評審、公開投票、現(xiàn)場答辯、專家終評審”等眾多環(huán)節(jié)，在百余家參與企業(yè)中脫穎而出，最終得以成功入圍前10名，入選“2023年上海市檢驗檢測創(chuàng)新案例”。
4nm制程晶圓級TEM分析照片
廣電計量集成電路測試與分析上海實驗室基于電子顯微技術，開發(fā)了先進制程芯片工藝解剖方案，掌握了先進制程芯片晶圓級工藝分析的核心技術，實現(xiàn)了4nm先進制程芯片的晶圓級工藝分析，如FinFet結構分析，原子級分辨率的形貌表征和成分分析等，可以更好的服務我國芯片設計及制造企業(yè)，保障自主知識產權安全！